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硅抛光片

硅抛光片规格


厚度(µm) 总厚度变化(µm)平整度(µm)弯曲度(µm)翘曲度(µm)颗粒度LLS(ea)
区熔单晶硅抛光片单面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
双面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
直拉单晶硅抛光片单面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm
双面抛光片150-1500≤5≤5≤20≤20<10@0.3μm

             注:如果几何参数有特殊要求,可以根据客户的要求制定。