硅抛光片
硅抛光片
硅抛光片规格
| 厚度（µm） | 总厚度变化（µm） | 平整度（µm） | 弯曲度（µm） | 翘曲度（µm） | 颗粒度LLS(ea） | ||
| 区熔单晶硅抛光片 | 单面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm |
| 双面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm | |
| 直拉单晶硅抛光片 | 单面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm |
| 双面抛光片 | 150-1500 | ≤5 | ≤5 | ≤20 | ≤20 | <10@0.3μm | |
注：如果几何参数有特殊要求，可以根据客户的要求制定。
上一个：
直拉硅单晶
下一个：
硅光学产品（硅透镜、硅反射镜）